Advanced search ?

Object

Metodyka i układy sterowania wiązkami cząstek naładowanych w mikrosystemach MEMS
Download

Title: Metodyka i układy sterowania wiązkami cząstek naładowanych w mikrosystemach MEMS

Creator:

Białas, Marcin

Contributor:

Grzebyk, Tomasz. Promotor ; Krysztof, Michał. Promotor

Abstrakt:

Wysokie zainteresowanie miniaturowymi urządzeniami elektronowiązkowymi można obserwować na świecie od dawna. Przykładowo, już w latach 50. XX wieku opracowano miniaturowe lampy pręcikowe, w których delikatne i trudne w produkcji siatki sterujące zastąpiono metalowymi pręcikami, co przyniosło wiele korzyści. Choć rola lamp elektronowych, za sprawą elementów półprzewodnikowych, jest we współczesnej technice marginalna, to prace nad miniaturowymi przyrządami elektrono- lub jonowiązkowymi są nadal prowadzone. Skupiają się zwykle wokół urządzeń takich jak spektrometry mas, mikroskopy elektronowe czy systemy do selektywnego nanoszenia bądź usuwania materiału w mikroskali. Dotyczą więc systemów, w których ruch cząstek naładowanych w próżni jest kluczowy dla ich działania i niemożliwy do zastąpienia elementami półprzewodnikowymi. Prace te często bazują na wykorzystaniu techniki MEMS, umożliwiającej wytwarzanie praktycznie wszystkich elementów przyrządu, tj. źródeł, elektrod sterujących i detekcyjnych oraz szczelnej obudowy, przy wykorzystaniu spójnych procesów technologicznych. Procesy te mogą być łatwo automatyzowane i skalowane z pojedynczych egzemplarzy laboratoryjnych do taniej produkcji masowej. Dzięki temu dotychczas drogie i stacjonarne przyrządy pomiarowe (jak np. mikroskopy elektronowe, spektrometry mas czy spektrometry rentgenowskie) mogą zostać uzupełnione o tanią formę przenośną. Pozwala to na prowadzenie wstępnych badań analitycznych na miejscu, bez konieczności zabezpieczania próbek i przesyłania ich do odległego laboratorium. Płynącą z tego korzyść widać przede wszystkim w badaniach trudnodostępnych i odległych obiektów, jakimi mogą być nawet obce planety. Celem niniejszej pracy było opracowanie układów i urządzeń (elektronicznych, mikromechanicznych, systemów automatyki i pomiarów) oraz oprogramowania, niezbędnych do uruchomienia i badań właściwości mikrosystemów elektronowych, jonowych lub ich podzespołów. Główny aspekt naukowy rozprawy stanowiło przeprowadzenie prac badawczych mających na celu charakteryzację oraz usprawnienie działania mikrosystemów MEMS opracowywanych w Politechnice Wrocławskiej: miniaturowego źródła promieniowania rentgenowskiego, mikroskopu elektronowego, spektrometrów mas lub ich części, a także skonstruowanych przez autora układów elektronicznych. W rozprawie przedstawiono autorskie układy i urządzenia, napisane oprogramowanie oraz przeprowadzone przy ich użyciu doświadczenia, które pozwoliły złożyć, uruchomić oraz scharakteryzować konstrukcje MEMS mikroskopu skaningowego, wybranych rodzajów spektrometrów mas oraz źródła promieniowania rentgenowskiego.

Publisher:

Politechnika Wrocławska

Place of publication:

Wrocław

Date:

2023

Resource Type:

rozprawa doktorska

Resource Identifier:

oai:dbc.wroc.pl:125483

Language:

pol

Relation:

Politechnika Wrocławska. Wydział Elektroniki, Fotoniki i Mikosystemów

Rights:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Access Rights:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Rights Owner:

Własność autora

Location:

Politechnika Wrocławska

Subject and keywords:

układy elektroniczne mikrosystemy

Object collections:

Last modified:

Jan 10, 2024

In our library since:

Jan 10, 2024

Number of object content hits:

61

All available object's versions:

https://dlibra.kdm.wcss.pl/publication/164130

Show description in RDF format:

RDF

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

Edition name Date
Metodyka i układy sterowania wiązkami cząstek naładowanych w mikrosystemach MEMSpolitechn Jan 10, 2024

Similar

Prace Naukowe Instytutu Telekomunikacji, Teleinformatyki i Akustyki Politechniki Wrocławskiej
Prace Naukowe Instytutu Telekomunikacji, Teleinformatyki i Akustyki Politechniki Wrocławskiej

Metody transimpedancyjne w analizie symbolicznej i optymalizacji układów elektronicznych

Balik, Franciszek

2012
książka rozprawa habilitacyjna

Zadania z rozwiązaniami z elementarnej techniki układowej w elektronice

Madej, Piotr

2014
książka

Projektowanie układów elektronicznych. Część I. Układy zasilania tranzystorów bipolarnych

Stanclik, Józef

2007
książka

Ceramic microsystems

Golonka, Leszek Malecha, Karol

2011
książka

Packaging of electronics, photonics and microsystems

Fałat, Tomasz Felba, Jan Matkowski, Przemysław

2011
książka
Prace Naukowe Instytutu Telekomunikacji i Akustyki Politechniki Wrocławskiej
Prace Naukowe Instytutu Telekomunikacji i Akustyki Politechniki Wrocławskiej

Badanie odporności urządzeń elektronicznych na impulsowe narażenia elektromagnetyczne

Więckowski, Tadeusz Wiesław

1993
książka
Biblioteka Kompatybilności Elektromagnetycznej
Biblioteka Kompatybilności Elektromagnetycznej

Badania kompatybilności elektromagnetycznej urządzeń elektrycznych i elektronicznych

Więckowski, Tadeusz Wiesław

2001
książka

Systemy mikroprzepływowe wykonane techniką LTCC

Malecha, Karol Golonka, Leszek. Promotor

2009
rozprawa doktorska
More
×

Citation

Citation style:

Contact details

Address

Wrocław University of Science and Technology (Coordinator)
Library of Wrocław University of Science and Technology
Wybrzeże Wyspiańskiego 27
50-370 Wrocław, Poland

Phone

(+48) 71-320-38-30
(+48) 71-320-47-50

E-Mail

bc@pwr.edu.pl

Visit us!

https://biblioteka.pwr.edu.pl/

This page uses 'cookies'. More information