Wyszukiwanie zaawansowane ?

Obiekt

Processing microstructure on film by femtosecond laser
Pobierz

Tytuł: Processing microstructure on film by femtosecond laser

Autor:

Yuan, Dong-Qing ; Zhou, Ming ; Cai, Lan ; Xu, Jian-Ting

Współtwórca:

Gaj, Miron. Redakcja ; Urbańczyk, Wacław. Redakcja

Opis:

Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 3, s. 629-635

Abstrakt:

Selective laser patterning of thin films in a multilayer film is an emerging technology for fabrication of MEMS devices. A 775 nm Ti:sapphire laser (130 fs, 1 kHZ) was used to irradiate the thin film stacks with variations in process parameters such as feed rate and numerical aperture of objective lens. Femtosecond laser patterning of Au/Cr films which have the same thickness of about 1000 nm and are coated on glass substrate has been investiged to determine optimal parameters of the patterning process. Through a SEM and an AFM, we investigate the morphology of pattern, including the linewidth, groove depth and the laser-induced periodic surface structures (LIPSSs). The depth of the ablated groove was observed to depend on the scanning speed. And from the energy spectrum we find out which layer has been removed completely. The experimental results show that precise micromachining with desired stability and reproducibility can be achieved by controlling the ablation energy and the feed rate using appropriate numerical aperture (NA).

Wydawca:

Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej

Miejsce wydania:

Wrocław

Data wydania:

2009

Typ zasobu:

artykuł

Identyfikator zasobu:

oai:dbc.wroc.pl:59309

Źródło:

<sygn. PWr A3481II> ; kliknij tutaj, żeby przejść ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

eng

Powiązania:

Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009 ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 3 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki

Prawa:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Prawa dostępu:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Lokalizacja oryginału:

Politechnika Wrocławska

Tytuł publikacji grupowej:

Optica Applicata

Temat i słowa kluczowe:

optyka femtosecond laser Au/Cr film process microstructure

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

8 lut 2019

Data dodania obiektu:

8 lut 2019

Liczba wyświetleń treści obiektu:

55

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://dlibra.kdm.wcss.pl/publication/100735

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Nazwa wydania Data
Processing microstructure on film by femtosecond laser 8 lut 2019

Obiekty Podobne

Optica Applicata
Optica Applicata
Evolution of microstructures on silicon induced by femtosecond laser with multiple pulses

Yuan, D.Q. Zhou, M. Lu, D.Q. Xu, J.T. Gaj, Miron. Redakcja Urbańczyk, Wacław. Redakcja

2011
artykuł
Optica Applicata
Optica Applicata
Femtosecond laser-induced damage in dielectrics

Peng, Yufeng Wei, Yaoli Lv, Zhenlong Wilk, Ireneusz. Redakcja Gaj, Miron. Redakcja

2004
artykuł
Physicochemical Problems of Mineral Processing
Physicochemical Problems of Mineral Processing
Kinetic separation curves based on process rate considerations

Drzymała, Jan Ratajczak, Tomasz Kowalczuk, Przemysław B. Drzymała, Jan. Redakcja

2017
artykuł
Physicochemical Problems of Mineral Processing
Physicochemical Problems of Mineral Processing
Recovery of colemanite from tailing using a Knelson concentrator

Savas, Mehmet Drzymała, Jan. Redakcja

2016
artykuł
Optica Applicata
Optica Applicata
The evolution of microstructure in annealed LaFeSi-type alloys

Gębara, Piotr Pawlik, Piotr Kulej, Edyta Wysłocki, Jerzy J. Pawlik, Katarzyna Przybył, Anna Gaj, Miron. Redakcja Urbańczyk, Wacław. Redakcja

2009
artykuł
Physicochemical Problems of Mineral Processing
Physicochemical Problems of Mineral Processing
Functionalized Stober silica as a support in immobilization process of lipase from Candida Rugosa

Kołodziejczak-Radzimska, Agnieszka Drzymała, Jan. Redakcja

2017
artykuł
Physicochemical Problems of Mineral Processing
Physicochemical Problems of Mineral Processing
Pressure leaching of decopperized copper electrorefining anode slimes in strong acid solution

Seisko, Sipi Aromaa, Jiri Latostenmaa, Petri Forsén, Olof Wilson, Benjamin Lundström, Mari Drzymała, Jan. Redakcja

2017
article
Optica Applicata
Optica Applicata
Measurement of chromatic dispersion of microstructure optical fibers using interferometric method

Peterka, P. Kanka, J. Honzatko, P. Kacik, D. Gaj, Miron. Redakcja Urbańczyk, Wacław. Redakcja

2008
artykuł
Więcej
×

Cytowanie

Styl cytowania:

Dane kontaktowe

Adres

Politechnika Wrocławska (Koordynator Konsorcjum DBC)
Biblioteka Politechniki Wrocławskiej
Wybrzeże Wyspiańskiego 27
50-370 Wrocław, Polska

Telefon

(+48) 71-320-38-30
(+48) 71-320-47-50

E-Mail

bc@pwr.edu.pl

Odwiedź nas!

https://biblioteka.pwr.edu.pl/

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji