Lower Silesian Digital Library contains 109 354 digital objects
Object
Title: Plasma dry etching of monocrystalline silicon for the microsystem technology
Creator:
Contributor:
Gaj, Miron. Redakcja ; Wilk, Ireneusz. Redakcja
Description:
Optica Applicata, Vol. 32, 2002, nr 3, s. 339-346
Publisher:
Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
Place of publication:
Date:
Resource Type:
Resource Identifier:
Source:
<sygn. PWr A3481II> ; click here to follow the link ; click here to follow the link
Language:
Relation:
Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 32, 2002 ; Optica Applicata, Vol. 32, 2002, nr 3 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki
Rights:
Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)
Access Rights:
Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku
Location:
Object collections:
- Lower Silesian Digital Library > Participants of the Consortium > 01. Wrocław University of Science and Technology > Journals WUoT > Journals published at Wrocław University of Technology > Optica Applicata
- Lower Silesian Digital Library > Resources > 2. Czasopisma > Czasopisma współczesne
- Lower Silesian Digital Library > Fields of science > 6. Nauki ścisłe i przyrodnicze
Last modified:
Jan 16, 2019
In our library since:
Apr 4, 2018
Number of object content hits:
186
Number of object content views in PDF format
220
All available object's versions:
https://dlibra.kdm.wcss.pl/publication/44820
Show description in RDF format:
Show description in OAI-PMH format:
| Edition name | Date |
|---|---|
| Plasma dry etching of monocrystalline silicon for the microsystem technology | Jan 16, 2019 |
Objects Similar
Górecka-Drzazga, Anna Gaj, Miron. Redakcja
Grzebyk, Tomasz Stasiak, Paweł Górecka-Drzazga, Anna Gaj, Miron. Redakcja Urbańczyk, Wacław. Redakcja
Górecka-Drzazga, Anna Dembicka-Jellonkowa, Stanisława. Promotor
Romanowski, Andrzej Gaj, Miron. Redakcja
Dobierzewska-Mozrzymas, Ewa Gaj, Miron. Redakcja
Marcinów, Tadeusz Wesołowska, Cecylia Wiktorczyk, Tadeusz Gaj, Miron. Redakcja
Rattan, R. Gupta, A. K. Singh, K. Gaj, Miron. Redakcja
Kaczmarek, Franciszek Mietlarek, Andrzej Gaj, Miron. Redakcja
